·¹ÀÌÀú ¼¾¼
·¹ÀÌÀú º¯À§ ¼¾¼´Â °Å¸®, À̵¿ ¹× Ä¡¼ö ÃøÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù. µÎ ¼¾¼¿¡¼ ÃøÁ¤ÇÑ °ªÀ» ÇÔ²² Æò°¡ÇÒ °æ¿ì À̸¦ ÅëÇØ ¹°Ã¼ÀÇ µÎ²²¸¦ °áÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. µÎ ¼¾¼ÀÇ °áÇÕµÈ ½ÅÈ£¿¡¼ ¸ñÇ¥ µÎ²²¸¦ Á¤È®ÇÏ°Ô ¼³¸íÇϱâ À§Çؼ´Â °Å¸®, À̵¿, Ä¡¼ö ÃøÁ¤ ¿Ü¿¡ ´Ù¸¥ ¿©·¯ °¡Áö ¿ä¼Ò¸¦ °í·ÁÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
¼¾¼ÀÇ Á¤·Ä
·¹ÀÌÀú ¼¾¼¿¡ ÀÖ¾î ¹Ý´ëÂÊ¿¡ ÀåÂøµÈ µÎ ¼¾¼ÀÇ Á¤·ÄÀº °¢º°È÷ ÁÖÀÇÇØ¾ßÇÑ´Ù. ¼¾¼ÀÇ ¸ñÇ¥ °ªÀº Á¤·Ä ºÒ·®, ±â¿ïÀÓ ¶Ç´Â °æ»ç°¡ Çã¿ëµÇÁö ¾Ê´Â´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î 1mm ÀÇ ¿ÀÁ¤·Ä°ú 2µµÀÇ ±â¿ï±âÀÇ °æ¿ì 35§ÀÇ ¿ÀÂ÷°¡ ÀÖ´Ù. 10mm ÀÇ Ç¥Àû µÎ²²ÀÇ °æ¿ì ÀÌ ¿ÀÂ÷´Â 41§ ·Î Áõ°¡ÇÑ´Ù.
µÎ ¼¾¼ÀÇ µ¿±âÈ
´ë»óÀÇ À̵¿À¸·Î ÀÎÇÑ °£¼·À» ¹æÁöÇÏ·Á¸é µÎ ¼¾¼¸¦ µ¿±âÈÇØ ´ë»óÀÇ Á¤È®ÇÑ ¹Ý´ë ÁöÁ¡¿¡¼ µ¿½Ã¿¡ ÃøÁ¤À» ¼öÇàÇØ¾ßÇÑ´Ù. µ¿±âȰ¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é °áÇÔÀÌ ÀÖ´Â ÃøÁ¤ µ¥ÀÌÅͰ¡ »ý¼ºµÈ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î ´Ù¸¥ ½Ã°£¿¡ ÃøÁ¤À» ¼öÇàÇϸé ÃøÁ¤ °³Ã¼ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î Áøµ¿ÀÌ ¹ß»ýÇØ Ãâ·Â ¿À·ù°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î(1mm 20Hz¿¡¼ÀÇ Áøµ¿) 1ms ÀÇ ½Ã°£ Áöü ÃøÁ¤¿¡ ÀÖ¾î 125§ ÀÇ ÆíÂ÷°¡ ¹ß»ýÇÑ´Ù.
¼¾¼À§Ä¡ | ÃøÁ¤¹üÀ§
¼¾¼ ¼³Ä¡ ½Ã À§Ä¡, ÃøÁ¤ ¹üÀ§, µÎ²² ÆíÂ÷, Áøµ¿À» °í·ÁÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
Á¤È®ÇÑ µÎ²² ÃøÁ¤¿¡¼ Å« ¿ÀÂ÷¸¦ ÀÏÀ¸Å°´Â ¿äÀÎÀ¸·Î ÀåÂø Àç·áÀÇ ¿ÆØÃ¢ÀÌ Á¾Á¾ °£°úµÈ´Ù. µû¶ó¼ ¿ÆØÃ¢ °è¼ö¸¦ °¡´ÉÇÑ ÇÑ ³·°Ô ¼±ÅÃÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î 16ppm/KÀÇ ¿ÆØÃ¢ °è¼ö¸¦ °¡Áø ÀüÇüÀûÀÎ ¾Ë·ç¹Ì´½ ¶Ç´Â ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿ ¾ÐÃâ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ¿¡ ¼¾¼¸¦ ÀåÂøÇÏ¸é ½ÇÇè Å×½ºÆ®¿¡¼ ´ë±â ¿Âµµ°¡ 5¡É ¸¸ º¯ÇÏ¸é ¼¾¼¸¦ 80¥ìm ÀÌ»ó À̵¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ´ëÁ¶ÀûÀ¸·Î ¿ÆØÃ¢ °è¼ö°¡ ÀϹÝÀûÀ¸·Î 1.2ppm/K ÀΠǥÁØ ±ÞÀÇ Invar ¸¶¿îÆÃ ÇÁ·¹ÀÓÀ» »ç¿ëÇϸé 6¥ìm·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
Á¤È®ÇÑ ÃøÁ¤À» À§Çؼ´Â ´ë»óÀÌ Ç×»ó ÃøÁ¤ ¹üÀ§ ³»¿¡ ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù. Ç¥ÀûÀÌ ÃøÁ¤ ¹üÀ§¸¦ ¹þ¾î³ª¸é ÃøÁ¤¿¡ °áÇÔÀÌ »ý±æ ¼ö ÀÖ´Ù.
·¹ÀÌÀú ¼¾¼ÀÇ ÃøÁ¤ ºñÀ²
´ëºÎºÐ µÎ²² ÃøÁ¤ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀº ÃøÁ¤ ´ë»óÀÌ ºü¸£°Ô ¿òÁ÷ÀÌ´Â °øÁ¤/ǰÁú °ü¸® ȯ°æ ¶Ç´Â ¹°Ã¼°¡ Á¤ÀûÀÌ´Ù. ·¹ÀÌÀú ¼¾¼´Â ªÀº »çÀÌŬ ½Ã°£À¸·Î ºÎǰÀ» ½ºÄµÇÏ´Â ¡®ºÎǰ °Ë»ç¡¯ ±â°è¿¡ ÀÖ´Ù.
µÎ °¡Áö ¸ðµÎ ¸ðµÎ ·¹ÀÌÀú ÃøÁ¤ ¼Óµµ¸¦ ÇÊ¿äÇÑ °ø°£ ºÐÇØ´É ¶Ç´Â »çÀÌŬ ½Ã°£°ú ÀÏÄ¡½ÃŰ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù. °í¼Ó ÃøÁ¤ ¼Óµµ¸¦ »ç¿ëÇÒ ¶§ ·¹ÀÌÀú ¼¾¼ÀÇ Á¤È®µµ°¡ ÃøÁ¤Çϱ⠾î·Á¿î Ç¥¸é¿¡¼ ¹ß»ýÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ºü¸¥ ÃøÁ¤ ¼Óµµ°¡ Ç×»ó ÃÖ»óÀÇ °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù. µû¶ó¼ ÇÊ¿äÇÑ °ø°£ ºÐÇØ´É ¶Ç´Â »çÀÌŬ ½Ã°£À» ÃæÁ·½Ã۱â À§ÇØ ·¹ÀÌÀú ÃøÁ¤ ¼Óµµ¸¦ °¡´ÉÇÑ ÇÑ ³·°Ô ¼±ÅÃÇÏ¸é ·¹ÀÌÀú ¼¾¼°¡ °¡´ÉÇÑ ¸¹Àº ¹Ý»ç±¤À» ¼ö½Å ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î º¸´Ù Á¤È®ÇÑ ÃøÁ¤ÀÌ ÀÌ·ïÁø´Ù.
¼¾¼ ÀåÂø
¼¾¼¸¦ ÀåÂø ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ø°£ÀÌ Á¦Çѵǰųª Á¦ÇѵǾî ÀÖ´Â µÎ²² ÃøÁ¤ ÀÛ¾÷ÀÇ °æ¿ì ¼¾¼ÀÇ Å©±â°¡ Áß¿äÇÏ´Ù. ºñÁ¢ÃË½Ä ·¹ÀÌÀú º¯À§ ¼¾¼´Â ¿ÏÀüÈ÷ ÅëÇÕµÈ ÄÁÆ®·Ñ·¯°¡ ÀÖÀ½¿¡µµ ºÒ±¸Çϰí Á¶±×¸¸Å©±â´Ù. ¼¾¼ ÀåÂø ½Ã ¼¾¼ À§Ä¡ ¼³Á¤°ú Á¤·Ä, ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼¾¼ ¾î¼Àºí¸®¿¡ ´ëÇÑ ¸ðµç ¿ä±¸ »çÇ×ÀÌ ÃæÁ·µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. °¡Àå ¾ÈÀüÇÏ°í ½Å·ÚÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÂøÀº ÀåÂø ¾×¼¼¼¸®¸¦ »ç¿ëÇØ ÀÌ·ïÁø´Ù. ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î O-frameÀ» »ç¿ëÇÑ ÀåÂøÀº C-frameÀ» »ç¿ëÇÒ ¶§ º¸´Ù ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ´Ù. µÎ²² ÃøÁ¤ÀÇ °æ¿ì ÃøÁ¤ ¿ø¸®°¡ µ¿ÀÏÇϰųª ´Ù¸¥ µÎ ¼¾¼ ½Ã½ºÅÛÀ» °áÇÕÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. À̰ÍÀº ¸ñÇ¥¹°ÀÇ ÇÑÂÊ ¶Ç´Â ¾çÂÊ¿¡ ¹èÄ¡µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. µÎ °³ÀÇ ¼¾¼ ½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ ºñ¼±Çü¼ºÀÌ ÇÔ²² Ãß°¡µÈ´Ù. º¯À§ ¼¾¼¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÀÛ¾÷¹°À̳ª ÀÚÀçÀÇ µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ±â¼ú¿¡´Â ±âº»ÀûÀ¸·Î µÎ °¡Áö ¿ø¸®°¡ ÀÖ´Ù.
¾ç¸é µÎ²² ÃøÁ¤
µÎ °³ÀÇ ¼¾¼°¡ °¢°¢ ¹°Ã¼¿¡ ´ëÇÑ °Å¸®¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÃøÁ¤ ¹°Ã¼ (Ÿ±ê)ÀÇ ¾çÂÊ¿¡ ¾Ë·ÁÁø °Å¸® dA¿¡ À§Ä¡ÇÑ´Ù. ¸ñÇ¥¹°ÀÇ µÎ²² dD¸¦ °áÁ¤Çϱâ À§ÇØ °Å¸® d1°ú d2 °¡ ¼¾¼ °Å¸® dA ¿¡¼ Â÷°¨µÈ´Ù.
´Ü¸é µÎ²² ÃøÁ¤
µÎ °³ÀÇ ¼¾¼°¡ ´ë»óÀÇ ÇÑÂÊ¿¡ ÀÖ´Â ÃøÁ¤ ¹°Ã¼·ÎºÎÅÍ µ¿ÀÏÇÑ °Å¸® d1 ¿¡ À§Ä¡ÇÑ´Ù. ÇϳªÀÇ ¼¾¼´Â ¹°Ã¼ÀÇ ¹Ý´ëÂÊ¿¡ ÀÖ´Â ¹è°æ¿¡ ´ëÇÑ d2 °Å¸®¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. ´ë»óÀÇ µÎ²² dD´Â ¼·Î ½ÅÈ£¸¦ »©°í °è»êÇÑ´Ù.
Ãâó : MICRO-EPSILON(www.micro-epsilon.com)
|