유닉스 엔지니어링, 리니어 박형스테이지 ‘UE-M095-X60’
• Slotless 리니어 모터 장착
• Cogging이 없는 속도 Ripple의 최소화
• 초소형 사이즈 - 폭(95mm), 높이(25mm), 길이(140mm)
• 센서(FLS,RLS,ORG) 내장
• 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용
• M075와 조합 가능: 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이
• Slotless 리니어 모터 장착
• Cogging이 없는 속도 Ripple의 최소화
• 초소형 사이즈 - 폭(95mm), 높이(25mm), 길이(140mm)
• 센서(FLS,RLS,ORG) 내장
• 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용
• M075와 조합 가능: 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이