어플라이드머티어리얼즈, 도시바에 예측 기반 스케줄 솔루션 소프트웨어 공급

어플라이드머티어리얼즈는 도시바에 리소그래피(Lithogra- phy) 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 자사의 예측 기반 스케줄 솔루션 소프트웨어 SmartSched를 공급한다고 밝혔다. 회로 패턴을 웨이퍼에 인쇄하는 리소그래피 공정은 팹(Fab, 반도체 공장) 중 가장 복잡하고 비용이 많이 들며 웨이퍼가 밀집되는 병목현상이 빈번하게 발생하는 부분이다. 또한 장치의 복잡성이 심화됨에 따라 가동 비용 역시 지속적으로 증가할 것으로 예상되고 있어 효율성 측면에서의 해결책이 필요한 상황이었다.

이번에 어플라이드머티어리얼즈가 공급하는 SmartSched는 도시바의 반도체 제조 시설 팹4(Fab4)에 적용된다. 팹4는 낸드 플래시 메모리 반도체용 300mm 웨이퍼 생산 라인이며, 도시바는 리소그래피 공정 시 생산량을 극대화하고 사이클 타임을 줄이기 위해 가장 빠르고 효율적인 SmartSched 소프트웨어를 도입했다.