어플라이드머티어리얼즈, CVD 및 결함 검사 시스템 선보여
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어플라이드머티어리얼즈는 혁신적인 기술을 적용한 ‘어플라이드 프로듀서 옵티바’ CVD(화학기상증착) 시스템 및 ‘어플라이드 SEMVision G5’ 결함검사 시스템을 선보였다. 어플라이드머티어리얼즈가 이번에 선보인 ‘어플라이드 프로듀서 옵티바’ CVD 시스템은 대부분의 스마트폰, 타블렛 PC, 고사양 카메라 등에 사용되는 최첨단 BSI(백사이드 일루미네이션, 이면조사형) 이미지 센서 제조 장비이다. 혁신적인 기술이 적용된 이 시스템은 저온에서 컨포멀 필름의 증착을 가능하게 함으로써, 센서의 저광량을 높이고 내구성을 확보할 수 있게 한다. 이는 저비용으로 제품의 수율을 대폭 향상시킬 수 있다는 측면에서 더욱 의미가 깊다.
‘어플라이드 SEMVision G5’ 시스템은 반도체 칩 제조 기업이 공정 중 어떠한 수동적 인력 개입 없이도 20나노미터(nm) 단위의 결함 유무를 분석할 수 있도록 하는 최초의 장비이다. 기존의 장비와 비교해 로직칩과 메모리칩 제조 시 보다 빠르고 정밀하게 결함의 원인을 찾아내며, 이를 1나노미터 픽셀 단위로 이미징할 수 있게 한다.
강력한 분석 엔진과 우수한 품질의 이미지로 패턴 레이어 사이의 결함을 감별 및 분석하여 결과적으로 생산 속도 및 처리량을 대폭 향상시키는 이 시스템은 결함 검사 분야의 새로운 기준이 될 것으로 기대된다.
