빅트렉스, EUV 리소그래피 포드 상용화에 기여
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빅트렉스 폴리머 솔루션즈는 포토마스크 토탈 솔루션 제공업체인 타이완의 구뎅정밀산업이 빅트렉스 ESD101 PEEK 폴리머를 핵심 부품으로 선택하여 극자외선(EUV) 리소그래피 포드(Pod)를 최초로 상용화하여 출시했다고 발표했다.
구뎅의 EUV 리소그래피 포드는 빅트렉스 ESD101 PEEK 폴리머의 복합 소재 물성을 통해 고유한 기술적 이점을 갖게 되고 웨이퍼 생산 효율성과 파장 193nm 이하의 차세대 광원 애플리케이션의 수율을 높일 수 있게 되었다.
EUV 기술을 이용해 웨이퍼를 성공적으로 제작하려면 처리 과정에서 레티클(Reticle)이 오염되지 않도록 캐리어 소재를 더욱 향상시켜야 할 것이다. 특히 더 작은 공간 안에 더 많은 기능을 포함시켜야 할 때 트랜지스터의 밀도를 높이면 회로가 축소되는데 이러한 상황에서는 캐리어의 개선이 더욱 요구된다.
ISMI와 ASML이 공동 규정한 사양을 토대로 고안된 구뎅의 이 새로운 EUV 포드는 금속으로 만든 내부 포드와 빅트렉스 ESD101 PEEK 폴리머로 만든 외부 포드를 갖춘 듀얼 포드로 설계되어 있어 무오염 환경을 유지시켜 준다. 또한 구뎅의 EUV 포드는 SEMI E152 표준을 준수하고 있다.
